Chemshunpelat poles wafer alumina/meja putar digawe saka alumina 99,7-99,9% kemurnian tinggi. Keramik alumina kemurnian tinggi nduweni kekakuan sing luar biasa lan tahan aus sing apik banget kanggo polesan wafer lan njaga bentuk permukaan sing apik sajrone wektu sing suwe. Iki dibentuk dening PIBM. Iki minangka anggota industri semikonduktor amarga stabilitas termal lan dimensi sing ora ana tandhingane lan tahan kanggo lingkungan peralatan pangolahan microchip sing abot.
Planarisasi Kimia-Mekanik (CMP), uga dikenal minangka Polesan Kimia-Mekanik, yaiku teknologi ing proses manufaktur piranti semikonduktor. Teknologi iki nggunakake korosi kimia lan gaya mekanik kanggo ngapikake wafer silikon utawa bahan substrat liyane sajrone proses.
Piranti CMP utamane dipérang dadi rong bagéan: bagéan polesan lan bagéan reresik. Bagean polesan kasusun saka 4 bagéan, yaiku 3 turntable polesan lan modul pemuatan lan pembongkaran wafer. Bagean reresik tanggung jawab kanggo reresik lan pangatusan wafer kanggo entuk "garing mlebu lan metu" wafer. Ing kabèh piranti polesan, keramik alumina nduwèni peran penting.
Keramik alumina biasane digunakake kanggo nyiyapake cakram poles wafer, sing mbutuhake kemurnian dhuwur, daya tahan kimia dhuwur, lan kontrol sing apik babagan bentuk lan kekasaran permukaan.
Cakram penggiling keramik Chemshun 99,7% Al2O3 digawe saka bahan keramik canggih, sing cocok kanggo nggiling macem-macem bahan kanthi apik, utamane kanggo nggiling bahan rapuh kayata wafer, keramik, lan kaca. Cakram penggiling keramik kita bisa digawe dadi macem-macem ukuran miturut model penggilingan lan polesan sing beda-beda.
Wektu kiriman: 30 Mei 2025